根據《中共中央辦公廳、國務院辦公廳關于深化項目評審、人才評價、機構評估改革的意見》等文件要求,現將2019年度“科技創新行動計劃”高新技術領域擬立項項目予以公示。 公示期為2019年9月27日至2019年10月9日。對公示內容持有異議的,請于公示期內以書面形式向我委反映。個人提出異議的,請在異議材料上簽署姓名,并注明聯系電話。單位提出異議的,請在異議材料上加蓋單位公章,并注明聯系人和聯系電話。我委對異議者的身份予以保密。
上海市科學技術委員會
2019年9月26日
附件:上海市2019年度“科技創新行動計劃”集成電路領域擬立項項目清單
序號 |
項目名稱 |
承擔單位 |
項目負責人 |
1 |
有線晶圓測溫傳感器和五軸磁懸浮分子泵的研制 |
中微半導體設備(上海)股份有限公司 |
龔利賢 |
2 |
國產高端光刻機關鍵技術協同攻關項目 |
上海微電子裝備(集團)股份有限公司 |
謝仁飚 |
3 |
集成電路清洗設備高階干燥模組的研制與應用 |
上海至純潔凈系統科技股份有限公司 |
許峯嘉 |
4 |
基于超短脈沖激光器的硅基CMOS 晶圓切割技術研究與工藝驗證 |
上海微高精密機械工程有限公司 |
高愛梅 |
5 |
面向集成電路領域硅晶圓紫外皮秒激光標識技術研究與驗證 |
上海市激光技術研究所 |
張杰 |
6 |
高能離子注入機關鍵技術研究與樣機驗證 |
上海凱世通半導體股份有限公司 |
陳炯 |
7 |
10nm銅化學機械拋光液和14nm大馬士革光刻膠去除劑的研發 |
安集微電子科技(上海)股份有限公司 |
荊建芬 |
8 |
大面陣、高動態CMOS圖像傳感器工藝研發提升 |
上海集成電路研發中心有限公司 |
趙宇航 |
9 |
750V/270A IGBT芯片、模塊開發及新能源汽車示范應用 |
上海道之科技有限公司 |
湯藝 |
10 |
大功率高密度車用電驅IGBT模塊研制項目 |
上海華虹摯芯電子科技有限公司 |
王曉軍 |
11 |
高能氫注入溝槽場終止IGBT工藝平臺開發 |
上海積塔半導體有限公司 |
高東岳 |
12 |
車規級CMOS圖像傳感器芯片研發與產業化 |
格科微電子(上海)有限公司 |
馬小妹 |
13 |
車規級寬動態高清圖像信號處理芯片研發和應用 |
上海富瀚微電子股份有限公司 |
高厚新 |
14 |
車用電池監控芯片和電池管理系統(BMS)控制器研發及小批量應用驗證 |
上海松岳電源科技有限公司 |
曾群欣 |
15 |
RISC-V動態可編程16GT/s超高速時序整合芯片研發及產業化 |
瀾起科技股份有限公司 |
楊崇和 |
16 |
汽車級EEPROM芯片的設計和產業化 |
聚辰半導體股份有限公司 |
夏天 |
17 |
自主可控汽車級EEPROM存儲器芯片研發與應用 |
上海復旦微電子集團股份有限公司 |
周泉 |
18 |
多功能感知融合三維異質集成微傳感系統的關鍵技術研究 |
上海交通大學 |
周亮 |
19 |
用于三維異質集成的新結構設計與集成方法研究 |
復旦大學 |
劉子玉 |
20 |
局域場調制超高速低功耗非易失存儲與計算 |
復旦大學 |
周鵬 |
21 |
基于鐵電效應的存算一體化和神經形態計算 |
華東師范大學 |
段純剛 |
22 |
基于多值相變存儲的神經形態芯片研究 |
中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
宋志棠 |
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